Filters
Realisatie van een cleanroom vindt in het algemeen plaats door toevoer van 'schone' lucht en afvoer van 'vervuilde' lucht. Het verwijderen van in de lucht voorkomende deeltjes wordt bewerkstelligd met behulp van geavanceerde filters. Schone lucht wordt verkregen door filtratie van de lucht door zogenaamd HEPA (High Efficiency Particulate Air) of ULPA (Ultra Low Penetration) filters. Lucht wordt via HEPA/ULPA filters in het plafond toegevoerd en keert terug via plafondroosters, retourkanalen in de wand of via de geperforeerde bodem. Het stromingspatroon kan echter ook horizontaal zijn.

HEPA filter - een droog-type filter in een vast frame met een minimum efficiency van 99.97% voor 0.3µ thermisch-gegenereerde dioctylphtalaat (DOP) (of een gespecificeerde alternatieve aërosol) deeltjes, en een maximum schoon-filter drukval van 2.54 cm (1.0 inch) waterkolom wanneer getest bij de gespecificeerde airflow capaciteit.
ULPA filter - een droog-type filter in een vast frame met een minimum deeltjes efficiency van 99.999% voor deeltjes diameters > 0.12 µ.